70570威尼斯城官网-vns威尼斯值得信赖

热线 4008-755-698

超高纯电子特气系统中特气柜的主要组成部分

2020-11-07 10:36:21    责任编辑: 特气柜设计制造企业     0

WOFLY全自动特气柜(GC)是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备,通过SEMI S2认证,基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断(当设定报警信号被触发时),主要用于安全稳定输送特种气体。



现在大家来认识一下沃飞WOFLY特气柜上的一些主要组成部分:


1. 气动阀气源:一般以GN2来进行控制,不建议使用CDA(clean dry air),因GN2的供应系统比较稳定,不会因停电或运转设备故障而中断,此气源是用于自动或半自动的气动阀件开关。

2. 手动控制阀:主要用于第二道防护作为第二次确认或检修用,一般于供应气体的出口端。

3. 逆止阀(单向阀):防止特气倒灌到清洁用的PN2(高纯氮)系统和抽气用的GN2(普氮)系统。

4. 调压阀:用于调整供应系统的供应压力。

5. 压力传感器:是防护系统中非常重要的零件,透过它大家可以判断管路是否泄漏,相关阀件是否正常开关,同时亦可检知钢瓶的剩余量。

6. 真空产生器:利用GN2快速流动产生吸力,将管路中的气体抽出,以到达抽气的目的。 

7. 气体过滤器:一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器,在出端会装比较细的过滤器,有效过滤气体中的颗粒,过滤器较不易吹扫,所以一般不建议装在常吹扫的管路中。

8. 过流量侦测器:对管路异常流量进行侦测,若是超过设定值,即判断管路上可能大量泄漏,进而关闭供应系统停止供气。

9. 限流孔:是一种简易又有效的过流量控制装置,用以限制大量气体流过,一般使用于出口处,其主要功用是避免大量的特殊气体排出,区域性的废气处理机无法处理的情况发生。



 

以上,就是关于超高纯电子特气系统中沃飞WOFLY特气柜的主要组成部分的先容了,感谢您的阅读,沃飞科技, 专业从事气体系统工程!


70570威尼斯城官网|vns威尼斯值得信赖

XML 地图 | Sitemap 地图