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TFT-LCD显示屏制造中特气柜/架,VMB/VMP的应用

2020-12-25 11:33:09    责任编辑: 特气系统工程设计安装企业     0

TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示屏)是一种基础技术,自二十世纪九十年代开始民用以来,它已成为现代生活不可或缺的组成部分,其应用远不限于电视机和智能手机,它存在于大家日常生活中的方方面面:手表(可穿戴设备)、电器、广告、标牌、汽车等。今天主要先容一下显示制造工艺所需要的特种气体,和保证气体安全输送使用的特气系统。



TFT显示屏制造与半导体器件制造方面有很多相似之处,比如:这两种制造过程中都需要使用大量气体、比如工艺步骤中的沉积、刻蚀、清洁和掺杂,还有其他步骤使用的气体类型也都比较相似。



这些气体中电子特种气体(ESG)包括硅烷、三氟化氮、氟(现场产生)、六氟化硫、氨气以及磷化氢混合物,占显示屏制造中使用气体的52%。比如硅烷:SiH4是显示屏制造中最关键的气体之一,与氨气(NH3)结合使用,形成用于非晶硅(a-Si)晶体管的氮化硅层,与氮气(N2)结合使用,形成用于低温多晶硅(LTPS)晶体管的预准分子激光退火非晶硅(a-Si),或与氧化亚氮(N2O)结合使用形成金属氧化物(MO)晶体管的氧化硅层。


TFT-LCD中的特气系统

为保证TFT显示屏制造中易燃易爆、剧毒性和腐蚀性等危险性电子特种气体的安全使用,都会安装特气系统。特气系统由半导体SEMI S2认证的特气柜(GC)、特气架(GR)、VMB/VMP以及特气管道组成,保证如硅烷、笑气(N2O)等特种气体的安全输送。



综上,TFT-LCD显示屏制造中PECVD(等离子体增强化学气相沉积)、蚀刻、LTPS和MO晶体管的生产都需要使用特种气体,而特气系统中的SEMI S2认证的特气柜(GC)、特气架(GR)、VMB/VMP以及特气管道保证特种气体的安全输送,并保证气体纯度和稳定压力。


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