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VMB气体阀门分配箱的应用与功能设计

2021-01-07 10:49:47    责任编辑: VMB气体阀门分配箱生产制造厂商     0

VMB气体阀门分配箱,广泛应用于半导体、光伏、电子行业、医疗等生产领域中,以客户实际上的需求来设计2、3、4、5或其他点数的数目,可同时数台机台供应气体,亦可加调压阀做二次调压让压力更加的稳定,设定上下警报讯号做更有效的供应控制。


VMB气体阀门分配箱的应用:

在电子特气的输送中,VMB的引入是一对多,点对点分支的核心单元。不仅保证了多点用气,而且确保了用气的安全。

电子气体,特别是危险的特殊气体,如磷化氢、硼烷、硅烷、硫化氢、硫化氢、易燃易爆的、有毒气体等,在半导体生产中至关重要。电子特气是广泛应用于电子工业生产过程中的工业气体,常用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺,是至关重要的原材料。这种材料被称为电子工业的“血液”,电子特气的质量稍有差池,轻则导致半导体产品质量不过关,重则扩散污染整sss条产品线,甚至报废,造成巨额损失。因此,电子特气在电子工业中的作用举足轻重,是名副其实的“电子工业的血液”。



VMB气体阀门分配箱功能设计:

VMB气体阀门分配箱有手动、半自动和全自动三种类型,它们之间的区别在于是否通过PLC面板控制和系统功能的多少,用户可根据使用气体性质求和工艺需求进行选择和配置。

对于特殊气体,VMB应设计有进气管隔离阀和压力指示装置;气路应配备一个独立的压力控制调节阀、过滤器、过流开关;气体分支应设有独立的出口隔离阀;管道上应配备单独的吹扫气设备、辅助真空设备等。

对于惰性气体,VMB应提供进气管路隔离阀和压力指示装置;气路应配备独立的压力控制调节阀、过滤器;气体分支应配备独立的出口隔离阀。

以上,便是关于VMB气体阀门分配箱的设计和应用的简单先容,感谢您的阅读!


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