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磷烷特气柜在半导体外延工艺中的常识先容

2021-01-15 10:54:27    责任编辑: 特气设备生产制造厂商     0

在半导体材料和器件的研究和生产中经常要使用各种具有易燃易爆、剧毒、腐蚀性的特种气体,磷烷(PH3)便是其中一种典型。在半导体制造中,这种气体需通过磷烷特气柜等特气系统设备输送供气,参与到制程工艺中,主要用作半导体外延材料的生长源,在气相外延(VPE)、金属有机物气相外延(MOVPE)等广泛应用。


磷烷的气体性质:

磷烷(PH3):是一种无色、剧毒、易燃气体,磷化氢按照高毒性且自燃的气体处理,一般以液化压缩气体储存于气体钢瓶内。

磷烷(PH3)是一种人体吸取相当快的剧毒气体,主要由呼吸道吸入中毒,吸入人体会对心脏、呼吸系统、肾、肠胃、神经系统和肝脏造成影响,空气中浓度若达到1390mg/m3,会使人迅速死亡。对吸入中毒者应马上将中毒者移至新鲜空气处,更换污染衣服,用水冲洗皮肤。

磷烷在半导体工艺中的作用:

磷烷(PH3)主要用于硅外延的掺杂剂,磷扩散的杂质源,同时也常用于其他一些半导体工艺中,如扩散、离子注入、多晶及非晶硅化学气相淀积、外延GaP材料、化合物半导体的MOCVD工艺等。


磷烷特气柜的作用:

从上面的描述,可以了解到磷烷(PH3)是一种危险性特种气体,不管是它的制备、运输、供气和废气处理等,都需要注意安全。

磷烷特气柜是电子特气系统中一种专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的特气设备,基本功能有自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断等,可以保证磷烷(PH3)在半导体制造中的用气安全和气体纯度及提供稳定的气体压力。


综上所述,磷烷(PH3)是微电子工业、光电子技术中不可或缺的气体材料,虽然因其气体性质在使用中具有一定的危险性,但有着磷烷特气柜等特气系统设备为它保驾护航,可以放心使用。感谢您的阅读!


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